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压力传感器的区别和原理

2017/8/10 11:41:30      点击:

单晶硅压力变送器采用的是纳米单晶硅作为传感器;

普通压力变送器一般是金属电容作为传感器;

而小型压力变送器一般是扩散硅作为传感器。

 

单晶硅压力传感器的原理

单晶硅是建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥(Wheatstone bridge)组成的硅应变计,经500℃以上高温熔化玻璃,将硅应变片烧结在174PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受压变形后产生电信号,由带微处理 器的数字补偿放大电路进行放大,经数字软件进行全智能温度补偿,输出标准信号。在标准净化生产过程中,参数严格受控,避免了温度、湿度及机械疲劳的影响, 具有频响高、工作温度宽等特点,保证了传感器在工业恶劣环境中使用的长期稳定性。

 

扩散硅压力传感器的原理

被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

 

电容式压力传感器的原理

一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器,可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。